小型真空高低溫探針臺(tái)
探針臺(tái)的系統(tǒng)組成包括：
探針臺(tái)體
顯微鏡
觀察攝像組件
探針座&夾具
直流探針
開(kāi)爾文探針
射頻/微波探針
光波探針
光學(xué)隔振臺(tái)
轉(zhuǎn)接頭
真空氣泵
其他升級(jí)組件
總體規(guī)格特點(diǎn):
重量：30kg
尺寸：450mm寬x400mm深x600mm高
優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長(zhǎng)時(shí)間舒適的操作。
載臺(tái)（chuck）規(guī)格：
4英寸/6英寸載臺(tái)，直徑101.6mm/152.4mm，平整度：±3μm
載臺(tái)采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附樣品尺寸為5mmx5mm
載臺(tái)X-Y軸微調(diào)行程101.6mmX101.6mm，微調(diào)分辨率1μm
載臺(tái)Z軸方向微調(diào)升降10mm，微調(diào)分辨率1μm
載臺(tái)水平角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，旋轉(zhuǎn)精度0.01°
載臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，可作背電極使用。
針座臺(tái)面規(guī)格:
U型拋光不銹鋼臺(tái)面
針座臺(tái)面平整度：±3μm
可容納針座數(shù)量：4~6個(gè)。
顯微鏡操縱規(guī)格:
配有擺臂調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y任意方向的快速移動(dòng)
顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦旋鈕，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm。
應(yīng)用場(chǎng)景：
直流IV/CV測(cè)試
Pulse IV測(cè)試
阻抗測(cè)試
時(shí)域分析測(cè)試
有源射頻測(cè)試
無(wú)源射頻/微波測(cè)試。
