依靠F50先進(jìn)的光譜測量系統(tǒng),可以很簡單快速地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r0極坐標(biāo)移動平臺,可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y試的點并測試厚度,每秒測試兩點
